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电阻率，碳氧含量，位错密度） 5设备工艺控制保 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。单晶炉型号定义\单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。

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定时器/计数器，Watchdog等组成。数字核心的主流为嵌入式微控制器（MCU），即通常所说的单片机，输入输出通道包括模拟量输入通道（模拟量输入变换回路（将CT，PT所测量的量转换成更低的适合内部A/D转换的电压量，±2.5V，±5V或±10V），低通滤波器及采样，A/D转换）和数字量输入输出通道（人机接口和各种告信号，跳闸信号及电度脉冲等）。运行原理电气系统微机保护装置的数字核心一般由CPU。存储器。提高稳定性。支撑柱在炉体支撑的上面，便于下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术，简便干净。全自动控制系统采用模块化设计，维护方便，可靠性高，抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热率控制方式可选，保控温精度。质量流量计控制氩气流量。高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。单晶硅生长炉的特点HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计上筒和上盖可以上升并向两边转动上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用，即可满足转动所需的扭矩，又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。