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是一种常用的小电流主令电器。利用生产机械运动部件的碰撞使其触头动作来实现接通或分断控制电路，达到一定的控制目的。通常。行程关这类关被用来限制机械运动的位置或行程。位置关（又称限位关）的一种使运动机械按一置或行程自动停止，反向运动，变速运动或自动往返运动等。行程关的触点动作，实现电路的切换。因此，行程关是一种根据运动部件的行程位置而切换电路的电器，它的作用原理与按钮类似。控制和位置状态的检测。用于控制机械设备的行程及限位保护。构造：由操作头，触点系统和外壳组成。在实际生产中，将行程关在预先安排的位置。位置关的作用是实现顺序控制在电气控制系统中当装于生产机械运动部件上的模块撞击行程关时。

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另一方面不断扩大硅片直径以减少芯片的离故度和降低成本。相应地，作为集成电路基础材料的硅单晶生产也在不断地提高其技术质量指标和增大单晶锭的直径和长度，以满足电路的要求和降低自身的生产成本。在国外市场上，硅晶体直径大致每4～5年增长1时（25．4mm），相应地，生产投料重也由1公斤逐渐发展为3～5公斤，8～12公斤，15～刘公斤和朋～6O公厅等几个等级。在这发展中，有两个条件是相辅相成。以提高集成度DL-78型单晶炉的热场和减压工艺\1前言集成电路生产的发展一方面不断缩小元件尺寸共同进步的减压工艺的设计与调整。支撑柱在炉体支撑的上面，便于下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术，简便干净。全自动控制系统采用模块化设计。便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计单晶硅生长炉的特点HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动维护方便高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用，即可满足转动所需的扭矩，又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。后，待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成，进行一定的保温冷却后可以取出。放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为75～300mm，这个过程称为放肩，接着，突然提高拉速进行转肩操作，使肩部近似直角，然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度。