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提拉式长晶炉回收+建德离子泵回收的电话

发布:2024/4/27 10:11:42 来源:shxj365
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这是单晶炉和拉晶工艺。为了配合di76.Zmm器件生产线的发展,我所研制了国内台15~30公斤的DL。78型单晶炉[‘],并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺[‘]。在控制大直径硅单晶的过程中,涉及的面比较广,尤其是从我国原有1公斤,th3orum级的基础上跳跃到12公斤,680mm硅单晶的拉制工艺,需要研究讨论的问题很多,例如,热场的设计。整个炉内不存在排气 不畅的地方,即不存在排气死角,既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀,还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上,从而确保了该炉的使用寿命,使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上,另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用,使平均成品率从原来的65%提高68%以上,并可提高单晶 的内在质量。

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晶体便会在籽晶下端生长,接着,控制籽晶生长出一段长为100mm左右,直径为3~5mm的细颈,用于高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错,这个过程是引晶。慢慢向上拉籽晶。通过石墨加热器产生的高温将其熔化,然后,对熔化的硅液稍降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面。把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚原理简介首先待籽晶与熔体熔和后随后生长出一定直径规格大小的单晶柱体。具有自主知识 5-JN)TDR—JN系列全自动晶体生长炉具有自主知识产权,是采用直拉法生长P型或N型单晶硅材料的专用设备。容易控制单晶中杂质浓度,可以低电阻率单晶。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,非化石能源占一次能源消费比重达到11.4%,单位国内生产总能源消耗降低16%,单位国内生产总值二氧化碳排放降低17%。要达到这样的目标,需要调用一切有效的手段。提拉式单晶炉在节能减排方面的主要目标包括而光伏发电无疑是一种极好的选择。纵观能源利用现状,以及为实现“十一五”节能减排目标所作出的努力,在未来的节能减排目标上仍面临着重大的挑战。

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