提拉式单晶炉南京高淳控制柜附近的电话电气控制系统一般称为电气设备二次控制回路，不同的设备有不同的控制回路，而且高压电气设备与低压电气设备的控制方式也不相同。主要能为了保一次设备运行的可靠与安全，需要有许多辅助电气设备为之服务，能够实现某项控制能的若干个电器组件的组合，称为控制回路或二次回路。这些设备要有以下能：1，自动控制能：高压和大电流关设备的体积是很大的。本文拟采用有限元分析的方法，对单晶炉的提拉系统进行分析。会严重地影响单晶体的内在品质。因此，避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现，某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时。不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化，造成有效分凝系数的变动，导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀，引起对流情况不稳定，导致生长时固液界面过冷度的变化。目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约，单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动，又要上升运动，同时还要保持速度稳定。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料对中性好为枝晶生长条件[1]提拉系统的软轴会出现明显的晃动找出引起提拉系统软轴晃动。
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直接有效的方法是提高生产时效，增加单炉的月产能。笔者长期从事单晶生产工作，经调研与现场试验，采用离线装料技术不仅可以缩短运行周期，提高工作效率，而且可以确保坩埚内所装硅料的洁净度，具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封。无泄露，长期使用不需充磁，精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件，确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试，高速旋转下籽晶晃动小于2mm，适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱，双滚动直线，精密滚珠丝杠以及进口等能件组合设计，确保坩埚系统在超重超低速工况下长期平稳运行。籽晶轴旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性浮动式翻板阀设在主副炉室之间。
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4.3接临时负载时，必须装有专用的关和熔断器。4.4二次回路通电试验时，为防止由二次侧向一次反变压，除将二次回路断外，还应取下一次熔断器。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，构成新一代高频关电源。采用移相全桥软关（ZVS）及CPU控制技术，提高了电能转换效率，不需要功率因数补偿装置。3，计算机控制系统：采用PLC和上位工业平板电脑PC机。
